用途別製作事例
微細凹凸形状加工
- 超硬合金
- 押さえる
- 耐摩耗性
- 材質
- 一般耐摩耗用超硬
- 製品サイズ
- 35×20×3.5
製品の用途や機能
超硬合金に微細加工な凹凸加工を施した部品で、半導体製造装置の関連部品のひとつです。
突起部が相手材と接触して使用されるため耐摩耗性の高い超硬合金を使用した設計となっている特注部品です。非常に精密な製品を相手としているため、突起部の寸法公差はミクロン台の高精度加工を求められます。 刃物が立たない超硬合金に微細加工を施すのは、細溝加工を得意とするプロファイル研削加工です。「プロファイル」とは本来輪郭のことを意味しますが、プロファイル研削は50倍ほどに拡大した投影盤の上で輪郭を映し出し精密な位置出しを行って研削ができる設備です。突起部のミクロン台の形状はこのような高精度研削によってきっちりと仕上げることが可能です。 尚、砥石が通らない部分には型彫り放電で除去するなど、 |