用途別製作事例

これは半導体製造装置に使われる部品ですが、中央に３×５ブロックの凹み形状があります。このブロック部が重要箇所ですが、ドリルなどの切削工具では加工ができない形状のため、右上のような銅の加工電極を用いて形状を仕上げていきます。加工のときにワークと当たった部分が黒く焦げたようになっているのがわかりますね。

クランパーをひっくり返すと細かな突起がついており、この突起は最も精度の高い仕上がりを求められる重要部です。切削加工、研削加工、放電加工と、幅広い加工技術を必要とする治具部品の一つです。