用途別製作事例

超音波加工を活用したジルコニアコレット

  • ガラス・セラミックス
  • 吸着/排出
  • 耐摩耗性
  • 耐食性
材質
ジルコニア
製品サイズ
13 × 12 × 8

製品の用途や機能

ジルコニアセラミックスで作成した吸着用ノズル(コレット)になります。

ジルコニアの高硬度による耐摩耗性が期待できるだけでなく、セラミック特有の機能や特性が得られます。このジルコニアの熱膨張率は金属と近いため接着して使われるケースなどもありますし、耐食性や耐薬品性が高いことも重宝しています。導電性がある材料のため静電気対策などで半導体電子部品業界で用いられる材料でもあります。このように、ほかにもジルコニアは包丁などにも使われますが、用途によっては金属を上回る機能を満たします。

セラミックスはいわゆる「脆性材」であり砥石を使った研削加工が主体となりますが、穴あけが困難な素材に入ります。ドリルやエンドミルなどの刃物では固すぎて刃が立ちませんし、円筒砥石を使っても周速が確保できず深さ方向に加工が進まないためです。そこで円筒砥石を深さ方向に超音波で加振して、あたかも掘削機で穴を掘るように加工する「超音波援用加工」という加工技術があります。この加工技術を使うと写真のような微細な加工が出来ます。

写真のサンプルは、外形 8×12×13、中心部にはφ0.3、深さ5の微細穴、側面にはM1.6のタップ加工が施されています。当ページでは加工サンプルとして同じ形状で超硬合金と石英ガラスでの加工サンプルも掲載しています。仕上がりの違いや材料による特性の違いなどを参考にしてみてください。