用途別製作事例

超音波援用で加工したガラスコレット

  • ガラス・セラミックス
  • 吸着/排出
  • 光学特性
  • 耐食性
材質
石英ガラス
製品サイズ
13 × 12 × 8

製品の用途や機能

石英ガラスで作成した吸着用ノズル(コレット)になります。

ガラスやセラミックス等のいわゆる「脆性材」は砥石を使った研削加工が主体となりますが、穴あけが困難な素材です。ドリルやエンドミルなどの刃物では固すぎて刃が立ちませんし、円筒砥石を使っても周速が確保できず深さ方向に加工が進まないためです。そこで円筒砥石を深さ方向に超音波で加振して、あたかも掘削機で穴を掘るように加工する「超音波援用加工」という加工技術があります。この加工技術を使うと写真のような微細な加工が出来ます。

写真のサンプルは、外形 8×12×13、中心部にはφ0.3、深さ5の微細穴、側面にはM1.6のタップ加工が施されています。中心の穴のまわりは□2のザグリ加工の後、透明化処理が施されており、裏面から画像モニターできるようになっています。従来このような吸着コレットは金属で制作されていましたが、ワークの微細化に伴い、位置決めを画像認識で行うニーズが高まり、ガラスで製作するケースが出てきています。

耐食性も高いため、アクリルなどは溶けだしてしまうような薬品関係にも対応しています。